PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機(jī)是一款針對實(shí)驗(yàn)室需要專門開發(fā)的小型臺式等離子清洗機(jī)，處理室為圓筒形石英玻璃，處理器為電容耦合外電極型，內(nèi)部無電極。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-08-18

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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真空等離子清洗機(jī)

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產(chǎn)品介紹

VPS-RF10是一款小型科研用射頻真空等離子清洗機(jī)，擁有多層處理電極，有效提高腔體利用率，滿足多種清洗需求。其原理是利用高頻的交變電場作用于真空氣體中，形成大量的等離子體，通過復(fù)雜的物理和化學(xué)過程來去除材料表面的污染物。采用這種方法能夠提升材料的粘附性與濕潤性，去除不同類型的污染物和雜質(zhì)，從而為之后的工序奠定良好的基礎(chǔ)。

PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機(jī)特點(diǎn)：進(jìn)口等離子電源電路技術(shù)、放電結(jié)構(gòu)，確保等離子體均勻分布

PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機(jī)應(yīng)用：提高親水性、提高粘接性、有機(jī)物清洗、PDMS鍵合、硅片玻璃清洗、氧化物還原

PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機(jī)

產(chǎn)品參數(shù)：

型號	VPS-RF10
等離子頻率	13.56MHz自動阻抗匹配
極限真空度	1Pa
功率	0-300W（可調(diào)）
腔體尺寸	230(L)270(D)200(H)mm
腔體容積	11L
單層有效處理面積	210（L）×220（D）mm
處理層數(shù)	3層
極板間距	58mm
腔體材質(zhì)	進(jìn)口級316L不銹鋼
氣路數(shù)量	2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮?dú)猓瑲錃獾龋ǜg性氣體需定制）
控制方式	PLC+觸摸屏
電源	AC220V/50Hz
外形尺寸	550mm(L)×580mm(W) ×500mm(H)